碱抛光添加剂 BPL系列

碱抛光添加剂 BPL系列

去污能力强

  • 背面处理干净,具有更强的去污能力,更干净的碱抛效果。

保护性强,绒面均匀平整

  • 适用于臭氧氧化及链式氧化。碱抛光之后塔基平整,塔基之间衔接良好。

降低成本

  • 降低碱抛的后清洗浓度,或者去掉后清洗步骤。

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工艺流程图
单晶刻蚀段